產(chǎn)品簡介

　　K100系列液體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。K100系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)(以下稱MFC/MFM)通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量，這種測量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時測量4種參數(shù)：氣體的瞬時流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓，并且可以同時顯示和輸出。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

　　技術(shù)特點(diǎn)

　　1、采用差壓式原理、液體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。

　　2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。

　　3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。

　　4、測量和控制的量程范圍大，2kg/min(H2O當(dāng)量)

　　5、預(yù)熱時間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。

　　6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊，操作簡單。

　　7、可直接與上位機(jī)連接，實(shí)現(xiàn)組網(wǎng)，便于操作。

　　技術(shù)參數(shù)

　　量 程：0...2kg/min (H2O當(dāng)量)

　　準(zhǔn) 確 度：±1.0%F.S

　　量 程 比：50:1

　　重復(fù)精度：±0.2%F.S

　　線性精度：±0.5%F.S

　　響應(yīng)時間：800毫秒（可調(diào)整）

　　穩(wěn) 定 性：±0.1%F.S

　　環(huán)境溫度：5…55℃

　　溫度系數(shù)：<±0.1%F.S/℃

　　泄 漏 率：<2×10 -8atm.ml/s(He)

　　啟動預(yù)熱時間：＜5秒

　　供 電：+15 …24vdc

　　模擬信號：0…5vdc或4…20mA

　　數(shù)字信號：RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶顯示

　　本體材質(zhì)：SS316不銹鋼

　　最大耐壓：30bar

　　連接方式：卡套式連接（可選螺紋連接 面密封VC R或其他連接方式）

　　技術(shù)選型

　　序 列 號： K100

　　產(chǎn)品類型： 【C】質(zhì)量流量控制器

　　耐壓等級： 【L】低耐壓 30bar

　　介質(zhì)類型： 由廠家選擇

　　流量范圍： 【005g】5g/min 【010g】10g/min 【100g】100g/min

    　　              【500g】500g/min 【001k】1kg/min 【2kg 】2kg/min

　　被測介質(zhì)： 由廠家選擇

　　供電類型： 【S】24vdc 

　　模擬信號： 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA

　　數(shù)字信號： 【X】本地顯示  【R】RS232  【M】RS485(Modbus-RTU)

　　密封材質(zhì)： 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他

　　接頭尺寸： 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他